Показать сокращенную информацию
dc.contributor.author | Гончарова, Лидия Михайловна | |
dc.date.accessioned | 2019-12-05T04:30:41Z | |
dc.date.available | 2019-12-05T04:30:41Z | |
dc.date.issued | 2019-12-05 | |
dc.identifier.uri | http://docspace.kubsu.ru/docspace/handle/1/1359 | |
dc.language.iso | ru | ru |
dc.subject | сублимация, кристаллизация, эпитаксия, кремний, германий, молибден | ru |
dc.title | Сублимационная кристаллизация функциональных слоев в микроразмерных ростовых ячейках | ru |
dc.type | Synopsis | ru |